热场扫描电子显微镜

编辑: 时间:2014-03-11 访问次数::3459

仪器名称:热场发射扫描电子显微镜(SEM 
仪器型号: Ultra 55
单价:348
购置日期: 2010/12
开放程度:全面开放
实验室负责人:初凤友研究员
办公电话:0571-81963202
实验室联系人:朱继浩副研究员  
                            刘吉强 副研究员
办公电话:0571-81963125
测试费:600/h,
2000元起(3h)
    膜: 200元/次
购置厂家:德国蔡司
技术指标:
1、电子枪:肖特基热场发射灯丝
2、分辨率:1.0nm@15kV1.6nm@1kV4.0nm@0.1kV
3、放大倍数:SE模式×121,000kxEsB模式时×100~1,000kx
4、加速电压:20V-30kV
5、样品室:330mm(直径), ×270mm(高)
65轴电动优中心样品台,X130mmY130mmZ50mmT-370°
主要附件:
    牛津X-Max 20电制冷能谱仪,电子背散射衍射探测器(EBSD),AsB背散射探测器(高压时使用),EsB背散射探测器(低压时使用),In-Lens 二次电子探测器(分辨率高),ET二次电子探测器(立体感强),红外CCD相机
主要功能及应用领域:
    主要用于物质的微区形貌和显微结构观察;利用能谱仪可进行物质微区定性或半定量成分分析,还可以进行元素的线、面扫描分析;利用电子背散射衍射仪,可以进行物质的相鉴定、显微织构分析。广泛应用于地质学、金属材料、无机非金属材料、冶金、生物、汽车、医学、公安等研究领域。