仪器名称:热场发射扫描电子显微镜(SEM)
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仪器型号: Ultra 55
单价:348万
购置日期: 2010/12
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开放程度:全面开放
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实验室负责人:初凤友研究员
办公电话:0571-81963202
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实验室联系人:朱继浩副研究员
刘吉强 副研究员
办公电话:0571-81963125
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测试费:600元/h,
2000元起(3h)
镀 膜: 200元/次
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购置厂家:德国蔡司
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技术指标:
1、电子枪:肖特基热场发射灯丝
2、分辨率:1.0nm@15kV,1.6nm@1kV,4.0nm@0.1kV
3、放大倍数:SE模式×12~1,000kx,EsB模式时×100~1,000kx
4、加速电压:20V-30kV
5、样品室:330mm(直径), ×270mm(高)
6、5轴电动优中心样品台,X=130mm,Y=130mm,Z=50mm,T=-3到70°
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主要附件:
牛津X-Max 20电制冷能谱仪,电子背散射衍射探测器(EBSD),AsB背散射探测器(高压时使用),EsB背散射探测器(低压时使用),In-Lens 二次电子探测器(分辨率高),ET二次电子探测器(立体感强),红外CCD相机
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主要功能及应用领域:
主要用于物质的微区形貌和显微结构观察;利用能谱仪可进行物质微区定性或半定量成分分析,还可以进行元素的线、面扫描分析;利用电子背散射衍射仪,可以进行物质的相鉴定、显微织构分析。广泛应用于地质学、金属材料、无机非金属材料、冶金、生物、汽车、医学、公安等研究领域。
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